現有的微機械加工技術向著發展的最終方向，取得了顯著成績。相比于半導體微細加工技術和微機械加工技術，一個復雜的成形優勢明顯的三維結構，其可以通過整體模來制造，電鑄，注塑等方法。然而，與積分電路討論。讓我們來具體介紹。

1、 微細電火花加工

電火花加工是利用不同工件和工具進行電極系統之間的脈沖性火花放電，產生一個瞬間高溫使工件結構材料具有局部熔化和氣化，從而可以達到蝕除加工的目的。電火花加工的特征時加工力小，其加工方法精度問題主要發展取決于電器而非機械設備裝置，并能夠加工極硬的導電性材料和復雜形狀。電火花加工企業由于其非機械接觸信息加工的特點選擇適合微細加工。微細電火花加工過程中由于工作電流小，亦能夠實現加工硅等半導體高阻抗材料。

實現微EDM的關鍵是微軸（刀具電極）的在線制造，微能放電電源，刀具電極微伺服進給，加工狀態檢測與系統控制，加工工藝等..

上微EDM技術的探索持續不斷的研究，它使組合相當大的進展與微機械制造和實際問題，通過簡單的圓形橫截面短軸的目的，孔擴展到復雜的三維微結構。

2、 光成形微細加工

光成形加工企業已經被嘗試勇于微細結構的制作，無疑為制作一個三維立體微結構研究提供一些有益途徑。光成形加工過程中首先可以利用學生一種通過紫外硬化樹脂作為被加工生產材料，當樹脂受到紫外線照射時，可又業態變為固態，控制系統曝光方式，即可成形各種三維模型結構。

光成形微加工具有許多無與倫比的工藝方法特點.. 可加工成型樹脂或金屬材料的高寬比三維結構.. 不聚焦的光移尺寸應與掃描間隔匹配.. 當光斑小于掃描間隔時，結構容易斷裂，反之亦然，影響成形。

3，其他的微細加工方法

機械進行切削技術加工，由于切削力的產生，一般可以認為不適于微型企業機械的加工方法制作。但是超精密產品加工方式已經能夠成功地制作出一個尺寸在10—100微米的為小三微構件。機械設計加工出的三維微小構件與壓電薄膜的熱液制作需要結合，試制出振動陀螺結構。超精密切削深度加工亦可用于通過三維環境復雜形狀的微小型致動器的制作。

在微EDM器件和方法研發的基礎上，開發了用于玻璃和硅基材料加工的微超技術.. 一種基于模具應用背景和X射線光刻掩模用于微元件制造的銑削工藝，通過聚焦離子束加工來告訴鋼材料的銑削道具。

在微細加工的限制，在探針針尖表面處理掃描隧道顯微鏡，原子，分子水平的應用。這種技術不僅使得能夠進行對象的單個原子的表面結構的分辨率，但是也可以提供用于處理的單一原子單位的處理的一種方式。

隨著社會人們對于精度的高要求，特殊微細加工企業技術研究已經可以成為一種未來的發展變化趨勢。所以，對于機械加工的廠商來說，多了解相關理論知識對于學生提高產品生產有十分大的幫助。